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0 2022-02-25 11:04 加入

佳能宣布发售新一代i线步进式光刻机:性能大增
12月7日,日本佳能宣布将于2023年1月上旬发售面向后道工艺的半导体光刻机新产品——i线步进式光刻机FPA-5520iV LF2 Option。据了解,在半导体芯片的制造工艺中,光刻机负责曝光电路图...