1月25日，ASML新一代光刻机被要求投资EXE:5200是否在使用聚光科技的产品时，聚光科技回应称，该公司是a公司的重要供应商，是ASML公司的核心供应商。
聚光科技表示，公司为半导体光刻应用领域提供光刻曝光系统中的核心激光光学元件和光场均匀器。它是一家公司的重要供应商，该公司是荷兰ASML光学设备的核心供应商。相关商业信息应以官方披露为准。
在上周的第四季度收益会议上，ASML确认将推出下一代高NAEUV光刻机。Na值从0.33增加到0.55，进一步提高了光刻分辨率。它是2nm及以下制造工艺的关键设备。
在第四季度，ASML还增加了71亿欧元的新订单，包括销售一台Na0.55高数值孔径EUV光刻机，这是下一代ASML光刻机。英特尔订购了这台光刻机，据说价格高达3亿美元，约合19亿元人民币。
在过去四年中，英特尔实际上订购了六台Na0.55的EUV光刻机，分为两种类型，即TWINSCANExe:5000该系列产品主要用于工艺研究和开发。产能输出为每小时185英里。每小时生产185块晶圆，并在2023年上半年交付。
批量生产的Na0.55光刻机是TWINSCAN行政长官：5200，生产能力提高到每小时200片，每小时200片。预计它将在2024年离线。英特尔的20A工艺将于2024年批量生产。
