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首发19亿一台的下代EUV光刻机 Intel将派人帮助ASML加速生产

2022-03-23 08:20
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亲亲昭睿42
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包括AMD和NVIDIA在内的半导体公司预计,全球芯片产能短缺将在今年下半年得到缓解。然而,生产光刻机的ASML对此提出了质疑。该公司首席执行官彼得·温宁克(Peterwennink)警告称,半导体芯片制造公司有着雄心勃勃的生产计划,但可能面临设备短缺。

Peterwennink在采访中表示,尽管大型半导体公司已经投资数十亿甚至数百亿美元来提高产能,但它们不太可能迅速提高产能,因为半导体设备也限制了产能。

未来两年,芯片生产的增长将进一步受到设备短缺的限制,这需要时间来解决。

就连ASML自己的光刻机生产也受到限制,但Intel首席执行官基辛格此前表示,他们已派人帮助ASML加快生产。

Intel没有提到他们派出了多少工程师,以及他们如何帮助ASML提高光刻机的产量,但他们可能会帮助ASML加快新一代EUV光刻机的生产。

目前的EUV光刻机仍然基于NA0.33技术。Intel的重点是下一代EUV光刻机,也就是说,Na0.55的新一代ASML光刻机的成本高达3亿美元,约为19亿元人民币。

事实上,在过去的四年里,Intel实际上订购了六台Na为0.55的EUV平版印刷机,分为两种类型。TWINSCANexe:5000系列主要用于工艺研究和开发。产能输出为每小时185英里。每小时生产185块晶圆,并在2023年上半年交付。

批量生产的Na0.55光刻机是TWINSCANexe:5200,每小时的容量为200WPH,每小时200片晶圆。预计它将在2024年离线。Intel的20A工艺于2024年大规模生产。

首发19亿一台的下代EUV光刻机 Intel将派人帮助ASML加速生产
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