本月早些时候，世界最大的光刻机制造商ASML在德国的工厂发生火灾，引起半导体行业的担忧。台积电作为ASML光刻机的最大客户，也对此事做出了回应。他们表示，他们并不担心2022年对产量的影响。
在最近的财务报告会议上，台积电高管回应了ASML工厂火灾，表示没有理由担心火灾会影响2022年的生产计划。
台积电强调，该公司的产能增长，包括EUV光刻，可以按计划完成，并不担心ASML的性能能力。
目前，台积电7Nm及以下的加工能力需要EUV光刻。根据财务报告披露的信息，台积电第四季度7Nm工艺芯片出货量占晶圆出货总量的27%，5nm工艺芯片出货量占23%。
至于ASML，根据他们之前的信息，现在评估它是否会影响今年的光刻机交付还为时过早，然而，这一事件主要影响了EUV光刻机的生产，而DUV光刻机并未受到影响。
EUV光刻机是生产7Nm以下工艺的关键设备。ASML是世界上唯一的EUV光刻机供应商，价格为1亿欧元，近10亿元人民币。去年交付了35台EUV光刻机，今年计划交付55台EUV光刻机。三星、台积电和英特尔是主要客户。
